カーボン抵抗体

表面形状像(左)/ 電流像(右)
走査型プローブ顕微鏡（SPM）を用いて、カーボン抵抗体の接触抵抗増加部位を観察しました。表面の付着物の形状と導電性分布が同時に得られます。
(電流測定システム使用)