光学材料の透過および反射スペクトルの測定/UV
光学材料の透過および反射スペクトルの測定/UV
紫外・近外赤外分光光度計によって近赤外域から紫外域まで広範囲の波長で透過および、反射スペクトルが高精度で測定できます。
紫外可視近赤外分光光度計 UV-3700では大型の試料においても破壊せずに測定することが可能です。
紫外・近外赤外分光光度計を用いてCD基板の透過スペクトルとシリコンウェハの反射スペクトルを測定しました。
CDディスク基板の透過スペクトル
シリコンウェハの反射スペクトル
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紫外・可視・近赤外分光光度計
紫外から赤外まで幅広い波長範囲での分光光度測定が可能です。
深紫外光の吸収の少ない素材を使用した光源、検出器、積分球を採用し、また分光器、試料室など全ての光路を窒素パージすることにより最大165～3300nm(DUV型にオプション使用時)の広波長領域での測定が可能です。