SPL/MMI/SPI スプリットフィルタの交換
事前準備¶
はじめに装置をメンテナンス可能な状態（メンテナンスモード）へ移行して下さい。
注記
「①スプリットフィルタの交換」と「②SPLIT/PURGEトラップの交換」は同時に行ってください。
「②SPLIT/PURGEトラップの交換」はMMI使用時のみ対象です。
①スプリットフィルタの交換
②SPLIT/PURGEトラップの交換（MMI使用時のみ）
使用部品¶
No. |
部品名称 |
カテゴリ |
必要個数 |
備考 |
|---|---|---|---|---|
① |
スプリットフィルタ |
1 |
||
② |
SPLIT/PURGEトラップ |
1 |
||
③ |
アルミパッキン |
1 |
||
④ |
10×12スパナ |
1 |
作業手順¶
手順1¶
AFC/APCカバー（★1）を開けます。
手順2¶
フィルタナット（★2）を反時計回りに回して、 古いスプリットフィルタ（①）を取り外します。
手順3¶
新しいスプリットフィルタにO-リングが2か所ついていることを確認します。
手順4¶
新しいスプリットフィルタ（①）にフィルタナット（★2）を取り付けます。
手順5¶
スプリットフィルタを保持台に乗せ、スプリットフィルタのセンター軸をフィルタ固定ブロックの穴に通して奥に挿し込みます。
手順6¶
フィルタナット（★2）を時計回りに回して、スプリットフィルタを固定します。
手順7¶
INJ/DETカバー（★3）を開けます。
手順8¶
SPLIT/PURGEトラップの両端のジョイントを緩めて外します。
手順9¶
新しいトラップを時計回りに回して取り付け、スパナで締め付けます。このときG型ジョイントには必ずアルミパッキン(③)を2、3枚入れてください。
手順10¶
INJ/DETカバー, AFC/APCカバーを閉めます。
手順11¶
いずれかの手順に従い、メンテナンスモードから復帰します。