粗さパラメータの視覚化 / OLS，SFT
粗さパラメータの視覚化 / OLS，SFT
粗さ比較に最適なパラメータを提案します。
3次元表面性状パラメータ（以下，粗さパラメータ）は国際規格（ISO）での制定が始まり，これらの日本工業規格（JIS）化が開始されています。この粗さパラメータは，レーザー顕微鏡（LSM) と原子間力顕微鏡（AFM）に代表される面方式で規格化されています。現在， 23種類の粗さパラメータが規格化されています。LSMとAFMは，ひろく工業分野で用いられており，面方式による粗さ評価は重要になってきています。
■比較に最適な粗さパラメータの選択について
粗さの数値を見ていると,”粗さパラメータの中のどれを使って比較すれば良いか？”という迷いをよく経験します。島津レーザー顕微鏡（OLS）とナノサーチ顕微鏡（SFT）は粗さパラメータの比較機能を提供しています。この機能を利用すると,粗さパラメータはグラフにより視覚化され,比較に最適なパラメータの選択が簡単に行えます。
Fig.1 粗さのグラフによる視覚化と比較解析の概念図
■粗さパラメータ比較機能と視覚化
粗さパラメータの種類は多く,それぞれに定義と算出式が異なります。たとえば,加工品表面の仕上がりの比較を行う場合,その表面の性質,用途と,得られた粗さの数値から比較に最適なパラメータを見出す必要があります。 粗さパラメータ比較機能の概念図をFig.１に示します。グラフによる視覚化は,平均値と数値のバラツキ（標準偏差）により行います。粗さパラメータ比較機能は,すべてのパラメータに対応しています。これにより,さまざまな試料の粗さ評価に利用できるようになっています。 比較に有効かどうかの判別は視覚化されたグラフにより行います。典型的な判別例をFig.2に示します。
Fig.2 粗さパラメータの
視覚化による判別
◎比較に最適
バラツキも少なく，平均値と山が重なりなく分離している。
○比較に有効
平均値は分離しているが，バラツキがあり，山の一部が重なる。
比較に向かない
山どうしが重なり合う。
関連アプリケーション
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粗さパラメータの視覚化により,3種類の塗膜の比較に最適な粗さパラメータの探索を行った例を紹介しています。
3D測定レーザー顕微鏡 OLS5000
3D測定レーザー顕微鏡
3D測定レーザー顕微鏡OLS5000の外観を示します。この装置は波長405 nmのレーザー光と白色LED光を使用することにより高分解能なレーザー観察像とカラー像が得られます。さらに三次元形状（3D）計測や粗さ測定を非接触で行うことができます。
