反射防止膜の評価

反射防止膜付き結晶Si太陽電池セルのさまざまな入射角度における絶対反射測定

反射防止膜は結晶Si太陽電池セルに入射する太陽光の反射を抑え、より多くの光をセル内部に導くために重要な役割を果たしますが、各波長範囲における反射率だけではなく、各入射角度における反射率も重要なパラメータとなります。
今回、紫外・可視・近赤外分光光度計SolidSpec-3700に5°～60°の任意の入射角度の絶対反射率を測定することが可能な可変角絶対反射測定装置を取付けて、反射防止膜付きSiウェハのさまざまな入射角度の絶対反射率を測定しました。