反射防止膜の評価

反射防止膜の評価

反射防止膜付き結晶Si太陽電池セルのさまざまな入射角度における絶対反射測定

反射防止膜は結晶Si太陽電池セルに入射する太陽光の反射を抑え、より多くの光をセル内部に導くために重要な役割を果たしますが、各波長範囲における反射率だけではなく、各入射角度における反射率も重要なパラメータとなります。
今回、紫外・可視・近赤外分光光度計SolidSpec-3700に5°~60°の任意の入射角度の絶対反射率を測定することが可能な可変角絶対反射測定装置を取付けて、反射防止膜付きSiウェハのさまざまな入射角度の絶対反射率を測定しました。

紫外可視近赤外分光光度計 SolidSpec-3700

紫外可視近赤外分光光度計 SolidSpec-3700

SolidSpec-3700/3700DUVは,高感度,短波長測定能力,超大型試料室,を兼ね備えた最高級分光光度計です。
FPD材料特性評価のため,近赤外領域の高感度測定が可能で,材料の大型化に伴う大形試料室を備えています。

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