EDX
EDXエネルギー分散型蛍光X線分析装置組成
- ・高感度
- ・高速
- ・高分解能
- ・液体窒素不要
原理
試料から発生した蛍光X線は、半導体検出器に同時に入ります。そして、電気信号に処理によって元素ごと(エネルギーごと)に計数され、蛍光X線スペクトルが得られ、EDXは多元素を同時に分析できます。
試料から発生した蛍光X線は、半導体検出器に同時に入ります。そして、電気信号に処理によって元素ごと(エネルギーごと)に計数され、蛍光X線スペクトルが得られ、EDXは多元素を同時に分析できます。