EDX

EDXエネルギー分散型蛍光X線分析装置組成

試料から発生した蛍光X線は、半導体検出器に同時に入ります。そして、電気信号に処理によって元素ごと(エネルギーごと)に計数され、蛍光X線スペクトルが得られ、EDXは多元素を同時に分析できます。

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