EDX

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  • EDX エネルギー分散型蛍光X線分析装置

  • 組成

EDX
 

 

  • ・高感度
  • ・高速
  • ・高分解能
  • ・液体窒素不要
  •  

原理

  • 試料から発生した蛍光X線は、半導体検出器に同時に入ります。そして、電気信号に処理によって元素ごと(エネルギーごと)に計数され、蛍光X線スペクトルが得られ、EDXは多元素を同時に分析できます。
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