ペロブスカイト太陽電池におけるITO層およびペロブスカイト層の膜厚測定

ユーザーベネフィット

- 蛍光X線分析では、nmオーダーの膜厚を簡便・迅速かつ非破壊で分析可能です。 - レーザー顕微鏡（OLS）の測定結果と同等の膜厚分析結果を得ることができます。 - 層情報を設定することで複数層の膜厚を定量可能です。

はじめに

ペロブスカイト太陽電池では、高効率化・大面積化の進展に伴い、透明電極として用いられるITO（Indium Tin Oxide：酸化インジウムスズ）膜の品質管理が重要になっています。ITO膜は、高い可視光透過性と導電性を併せ持つ透明導電膜であり、入射光を透過させるとともに、光電変換で生じた電荷を外部回路へ取り出す役割を担います。ITOの膜厚は透過率やシート抵抗などに影響し、素子性能を左右するため、適切な膜厚管理が必要です。 エネルギー分散型蛍光X線分析装置（EDX）は、前処理不要かつ非破壊、簡易な分析操作で、このITOの膜厚を測定することができます。 本稿では、下記試料の分析を行いました。 1. ITO膜 2. ペロブスカイト/ITO膜 また、EDXの定量精度の評価のため、同じ試料をレーザー顕微鏡OLS5500（OLS）でも測定し、結果の比較を行いました。

2026.09.30