半導体製造向け超純水のオンラインTOC測定

ユーザーベネフィット

- 1µg/L以下のTOC濃度を示す超純水を、安定して測定することができます。 - 超小型の本体に大きなカラータッチパネルを搭載しており、簡単に操作を行うことができます。 - ランプと試料流路を一体化した「Active-Path™」の構造により、高い酸化力を実現します。

はじめに

半導体の製造工程は、ウェハ製造・成膜・フォトリソグラフィ・エッチング・レジスト剥離など多岐にわたり、各工程には洗浄工程も含まれています。半導体表面のごくわずかな汚れが製品の品質や歩留まりに影響するため、洗浄工程で確実に汚れや不純物を取り除くことが重要です。そのため洗浄工程で用いられる洗浄水の純度がとても重要になります。近年の半導体の小型化や大容量化のため高精度な製造技術が要求され、それに伴い有機物などの不純物を徹底的に排除した超高純度の洗浄水が求められています。

2025.11.28