積層セラミックコンデンサの元素分布測定

ユーザーベネフィット

ー誘電体層の微量添加元素の分散状態を確認できます。 ーコアシェル構造に添加される微量な希土類元素の分布を確認できます。 ー 誘電体層と外部電極界面にあるガラスフリットの拡散状態を確認できます。

はじめに

積層セラミックコンデンサ（MLCC：Multi-Layer Ceramic Capacitor）は、携帯電話や自動車などあらゆる産業の電子機器に使用され、特に自動車の電動化と自動運転の普及に伴い需要が拡大しています。その中で、電子機器の更なる小型化・軽量化・長寿命化の要望に応えるため、MLCCの小型化と静電容量の大容量化の研究が進められています。静電容量は、誘電体の誘電率と誘電体の総数に比例し、誘電体層の厚さに反比例するため、誘電体材料の高誘電率化、誘電体層の薄層化と多層化が必要となっています。そのため、微細な多層構造や微量な添加元素の分布の評価が重要になります。 本アプリケーションでは、電子線マイクロアナライザEPMA™（EPMA-8050G）を使用した、MLCCの微量添加元素などの分析例をご紹介します。

2024.08.21