高純度ハイドロフルオロカーボン中の微量CO2分析

はじめに

フルオロカーボンは、C-F 結合を持つ有機化合物の総称であり、自動車、バス、ビル等の空調や冷蔵・冷凍庫の冷媒、精密部品や電子部品の洗浄剤等に利用されている化学材料です。ハイドロフルオロカーボン（HFC) は、非オゾン層破壊物質として代替フロンに分類され、半導体エッチングガスや電子部品クリーンガスとして利用されています。半導体、電子分野では高純度HFC が利用され、純度確認のため不純物の濃度測定が行われます。本データシートでは,高純度HFC 中の不純物である微量CO2 を、島津高感度ガスクロマトグラフシステム『Tracera』 を用いて分析した例をご紹介します。

2013.07.17