オートXYステージを使用したSolidSpec-3700の測定例

はじめに

SolidSpec-3700は超大型試料室など多彩な機能を備えていますが，その一つとして試料室内に設置するオプションのオートXYステージがあります。 オートXY-ステージを用いた試料の面内分布測定（マッピング測定）についてはアプリケーションニュースA.373「オートXYステージを使用したSolidSpec-3700の測定例サンプルの面内分布を測る-」で紹介しました。 今回は新たにオートXYステージ用の試料ホルダを作製し，オートXYステージを用いた複数試料の連続自動測定を行いましたのでご紹介します。

2009.04.04