SolidSpec-3700i/3700i DUV
可変角絶対反射測定装置を用いることにより，任意の入射角度（5°～70°）での絶対反射率測定が可能となります。今回は，紫外可視近赤外分光光度計SolidSpec-3700に可変角絶対反射測定装置を取り付け（Fig.1），入射角度を様々に変えてシリコンウェハ鏡面の絶対反射率を測定した結果をご紹介します。
2007.04.22
