SPM-8100FM
精密格子板のSTM観察と断面測定
ダウンロード
はじめに
走査型トンネル顕微鏡（STM）は，その卓越した分解能を最大の特長としますが，ほかにも豊富な表示法，容易な断面測定といった従来の測定法にない特長を有しています。ここでは島津精密格子板の観察例により，これらの特長を紹介します。 島津精密格子板は，当社のホログラフィック露光技術と反応性イオンビーム・エッチング技術により製造されたグレーティングの一種で，並行溝が多数配列した周期構造をとっています。島津精密格子板は周期誤差が極めて少なく，また溝深さも規定しているので，水平と鉛直の両方向の測定標準として利用されています。
2021.03.28
関連製品
一部の製品は新しいモデルにアップデートされている場合があります。