液晶ディスプレイガラス基板の異物分析

はじめに

近年，我々の身近な生活環境において，液晶テレビ，携帯電話，パソコンモニターなど液晶ディスプレイが幅広く利用されています。ガラス基板上の薄膜トランジスタ（Thin FilmTransister : TFT）で駆動するアクティブマトリクスの液晶ディスプレイ（AM-LCD）は綺麗な画像を表示しています。このAM-LCD は，薄膜保持機能を有するため，無アルカリガラス（アルカリ成分が液晶に拡散し，トランジスタ特性が劣化），耐熱性（0.7 mm 程度の厚みでも製造工程での熱収縮が小さいこと），耐薬品性（製造工程中の薬品処理での成分溶出など）などの高い特性が要求されています。 今回，TFT 用ガラス基板の EPMA による分析例をご紹介します。

2021.03.30