SPMによる圧電材料の極微小領域における 圧電応答の可視化

ユーザーベネフィット

- 圧電材料の特性決定の重要な因子である分極ドメイン毎の圧電応答を観察できます。 - 実際の使用環境に近い雰囲気（大気、不活性ガス、低真空など）のもとで評価できます。 - SPMに一体化された高性能光学顕微鏡により、精密にターゲットの探索を行えます。

はじめに

圧電材料は、電圧の印加により変形を生じるという圧電特性を持っています。その特性を活かし、様々な工業製品でセンサやブザー、フィルタとして重要な役割を果たしています。特に電子機器、通信機器の小型化が進む昨今、圧電材料の更なる高性能化が要求され精力的に開発が進められています。 圧電材料は自発分極の揃った領域（ドメイン）から構成されています。それらのドメインは図1に示すようにそれぞれ異なる方向に分極しており、電圧印加に対して異なる応答を示します。個々のドメインの応答は圧電材料の特性を決定する重要な因子となりますが、電圧印加による変形がナノメートルオーダーであることも珍しくなく、その応答を評価するためには高感度を要します。ここでは、サブナノメートルオーダーの応答を検出できる走査型プローブ顕微鏡［SPM（AFM）］を用いて、圧電材料の電圧印加に対するわずかな応答を捉えた事例をご紹介します。

2021.03.07