イメージングXPSによる金属の腐食・変色部分の分析

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はじめに

金属の腐食や変色の解析にはこれまでもXPSが広く使われてきましたが、これまでの分析手法とイメージング機能を組み合わせて使うことにより、不良部分の2次元分布を調べたり、特定の箇所のみを選択的に分析することが可能になりました。

2010.03.14

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