XPSによる有機物の化学結合状態解析

はじめに

XPS（X 線光電子分光法：X-ray Photoelectron Spectroscopy）は、物質表面約 10 nm に存在する元素の定性・定量分析に加え、化学結合状態の分析が可能な表面分析手法です。 物質の化学結合状態は材料の特性を決める重要な要素であり、XPS は、表面修飾の解析や樹脂劣化試験の評価、また電子部品の不具合解析といった場面などで幅広く利用されています。 精度の高い化学結合状態解析には、エネルギー分解能の高いスペクトルが必要です。ここでは、高いエネルギー分解能を持つ KRATOS ULTRA2TM で測定した有機物のスペクトルデータと波形分離の例をご紹介します。

2018.07.03