EPMA-8050G による微小部分析

はじめに

近年，ナノテクノロジーの進歩と共に，様々な工業製品が小型化・少量化・精密化しています。また，全ての製品には，地球上に存在する物質が使われていますが，資源は限られており，特にレアメタルなど希少な物質の使用量を減らすことを目的とした材料開発が進んでいます。それに伴い，使用される材料のナノ粒子化が進み，微小な領域において，高分解能で高感度な分析が必要となります。 最近，普及が著しい CeB6 タイプの EPMA では高感度・高分解能の画像観察と元素分析が可能でしたが，ここでは，更に微小領域の分析が可能な FE-EPMA の分析例をご紹介します。

2015.03.17