光電子イメージを用いた微小部測定

はじめに

XPS（X 線光電子分光法：X-ray Photoelectron Spectroscopy）は、物質表面約 10 nm に存在する元素の定性・定量分析に加え、化学結合状態の分析が可能な表面分析手法です。 Kratos の AXIS シリーズは、高空間分解能の光電子イメージングを可能とする球面鏡アナライザーを装備しています。球面鏡アナライザーと常に 256×256 画素の精細なイメージが得られる検出システムとを組み合わせることにより、短時間で光電子イメージが得られます。 また、得られるイメージの空間分解能は1μm に達しており、微小なサイズの測定対象も明確に描き出すことが可能です。

2019.10.30