SPM-8100FM
SPMの新しい測定方法ZXY測定の確立 －苦手な測定を克服－
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はじめに
SPMのデータ取得方法は、探針‐試料間相互作用が一定になるよう試料表面をなぞる『XY測定』が一般的です。このXY測定は、走査が速く、高い平面分解能をもち、様々な測定モードの基本となっています。しかし同時に『広い視野』・『やわらかい試料』・『凹凸が大きい試料』の測定が苦手といったSPMの短所も持ち合わせています。 我々は、これらの短所を克服できる『ZXY測定』の実用化に成功しましたので報告します。
2020.03.08
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