3D 測定レーザー顕微鏡による形状の精密測定と検査の自動化

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はじめに

部品や素材の形状測定と検査には、ミクロン、サブミクロン単位の精密測定が求められるものがあります。レーザー顕微鏡（LSM）はミリメートルからサブミクロンまでの精密測定を非接触で高速に行える装置です。しかし、LSM を使用しても大量の精密測定を行うには多くの作業負荷が発生します。 今回、IC ピッチ変換基板の端子形状の精密測定をモデルとして 3D 測定レーザー顕微鏡 OLS シリーズの自動化機能を実証しました。

2018.11.14

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