OLS5100
シート状試料の平坦固定とレーザー顕微鏡観察
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はじめに
薄いフィルムや樹脂板，紙などのシート状試料は，試料本来の形状とは異なる反りや歪みを持っていることがあります。表面粗さなどの表面形状評価を行うときは，この反りや歪みが無い状態で行うべきですが，単に試料を置くだけでは，これらを無くすことは困難です。両面テープで固定することも多いですが，このときもテープの凹凸が影響した不都合な歪みが生じます。今回は多孔質セラミック吸着盤（以下，吸着盤）による平坦固定方法と，それを加工紙の表面形状評価に応用した例をご紹介します。吸着盤は試料ステージ上に設置され，シート状試料を確実に平坦な状態で固定できます。
2016.07.12
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