OLS5100
透明な有機薄膜のレーザー顕微鏡観察は可能か？－マルチレイヤー機能と透明膜測定フィルターを用いた有機薄膜の形状観察－
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はじめに
レーザー顕微鏡（LSM）は広い視野の3Dの形状観察と測定が簡便にできることから，薄膜の厚み計測や形状評価に利用されています。しかし，透明薄膜の場合，LSMでは観察と測定が” 正しくできない”と従来は思われてきました。次世代太陽電池や低消費電力デバイスなどで注目されている有機系の導電性薄膜などは透明である場合が多く，LSMでも透明膜の観察を可能にする方法が望まれています。 今回，透明膜でもLSM観察を可能にする3D測定レーザー顕微鏡OLS4000とそのマルチレイヤー機能，および専用の透明膜測定フィルターを走査型プローブ顕微鏡（SPM）での検証とともにご紹介します。
2012.11.07
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