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ユーザーベネフィット

- XPSは物質最表面の分析(分析深さは約10 nm)が可能です。 - ULTRA2搭載のArクラスターイオン銃を用いれば、ダメージを与えずに表面のコンタミのみを除去することができます。

はじめに

近年、二次元構造の単純さや独特の対称性等に起因するユニークな特性から、MoS2などの二次元材料に関心が寄せられています。二次元材料は、バルク材料が適さないアプリケーションに有用です。使用用途としては、トランジスタ、センサー、電極、絶縁体などがあります。 本報告では、X線および深紫外線を使用し、二硫化モリブデン(MoS2)の価電子帯の光電子スペクトルを取得しました。スペクトル測定はArガスクラスターイオンによって行い、クリーニング前後でのサンプルのスペクトルの違いを検証しました。MoS2薄膜の表面分析を行い、表面の性質と結合状態に関して有益な情報を引き出しました。

2021.06.21

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