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はじめに

X 線透視装置は,対象物の内部構造を破壊することなく観察することができ,工業製品の故障原因の究明にも有効な手段となっており,島津マイクロフォーカス X 線システム SMX-160GT 形は,その代表的なものです。今回は,コーン CT による 3 次元画像を撮ることができる VCT(Vertical CT)ユニット(オプション)を同機に取り付けたシステムで,IC の不良箇所を観察した事例を紹介いたします。

2007.04.22

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