IC(集積回路)に生じた不良箇所の観察

はじめに

X 線透視装置は，対象物の内部構造を破壊することなく観察することができ，工業製品の故障原因の究明にも有効な手段となっており，島津マイクロフォーカス X 線システム SMX-160GT 形は，その代表的なものです。今回は，コーン CT による 3 次元画像を撮ることができる VCT(Vertical CT)ユニット(オプション)を同機に取り付けたシステムで，IC の不良箇所を観察した事例を紹介いたします。

2007.04.22