薄膜シリコン太陽電池の透明導電膜の多角的評価

はじめに

太陽電池は，結晶シリコン型，薄膜シリコン型，化合物系型（CIGS等），有機系（有機薄膜型，色素増感型）等に分類されます。その中で，現在製造されている太陽電池の約9割が結晶シリコン型太陽電池と言われています。今後は原料シリコンの使用量が抑えられる薄膜シリコン型の普及が期待されています。薄膜シリコン太陽電池の高効率化のためには，基板の積層技術やパターニング技術，表面テクスチャリング技術の向上などが必要とされます。ここでは，薄膜シリコン太陽電池に使用される透明導電膜（以下,TCO膜）の評価を走査型プローブ顕微鏡，紫外可視近赤外分光光度計，レーザー顕微鏡を用いて行った結果を報告します。走査型プローブ顕微鏡では表面テクスチャの観察，紫外可視近赤外分光光度計では透過率の評価，レーザー顕微鏡ではレーザーパターニングの観察を行っています。

2016.07.11