プラスチック硬さ測定アナライザー（DUH-210）
島津ダイナミック超微小硬度計DUH-W201SによるSiウェハー上の薄膜（樹脂膜）の硬さ試験について
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はじめに
島津ﾀﾞｲﾅﾐｯｸ超微小硬度計DUH-W201Sは、超低試験力（0.1ｍＮから）で硬さ試験が出来るため、下地の影響を受けることなく、膜本来の特性を測定することが出来ます。そのため、様々の保護膜の強度評価に多用されています。ここでは、６インチＳｉウェハー上の薄膜（樹脂膜）を切断することなく、硬さ試験をした事例について紹介します。
2002.03.18
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