島津ダイナミック超微小硬度計DUH-W201SによるSiウェハー上の薄膜(樹脂膜)の硬さ試験について

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はじめに

島津ダイナミック超微小硬度計DUH-W201Sは、超低試験力(0.1mNから)で硬さ試験が出来るため、下地の影響を受けることなく、膜本来の特性を測定することが出来ます。そのため、様々の保護膜の強度評価に多用されています。ここでは、6インチSiウェハー上の薄膜(樹脂膜)を切断することなく、硬さ試験をした事例について紹介します。

2002.03.18

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