島津ダイナミック超微小硬度計DUH-W201Sによる微小片持はりの強度試験

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はじめに

島津ダイナミック超微小硬度計は、薄膜等の微小部分の硬さ試験に用いるのが一般的です。しかし、この装置で得られる試験力と深さ（変位）の関係を応用して、微小部品の様々な材料試験を行うことができます。ここでは、微小はりの曲げ応力を求めた例について紹介します。

2021.03.28

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