SPM-9700HT

走査型プローブ顕微鏡 (Scanning Probe Microscope)

SPM-9700HT

未知の世界を見える化する

走査型プローブ顕微鏡(SPM)は、試料表面を微小なプローブ(探針)で走査し、試料の三次元形状や局所的物性を高倍率で観察する顕微鏡の総称です。SPM-9700HTは、ハイスループット観察をさらに進化させました。

観察時間を短縮する ハイスループットスキャナ

新しく開発したHTスキャナにより、従来より5倍以上の早さ(当社比)で表面形状の観察が可能になりました。
スキャナは簡単に交換できるため、従来のスキャナを使用できます。また、既存のSPM-9700にHTスキャナを追加することで装置のハイスループット化が可能です。

ヘッドスライドメカニズム
-高安定性- & -ハイスループット-

レーザー光照射を中断せず試料交換、照射安定性抜群、分析時間も大幅短縮

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カンチレバーマスター
カンチレバー取り付け治具

カンチレバーを滑り台に沿って動かすだけで、取り付けを確実に行えます。

マウス操作で多彩な3D表現

色々な角度から大きく引き伸ばしての画像確認も、マウスで簡単操作、3D断面形状解析も可能

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観察から解析までの思考を妨げない操作性

手順を誘導するガイダンス、観察位置を迷わせないナビゲーションなどにより、スピーディ&スムーズ観察

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あらゆる要求に応える機能と拡張性

豊富な測定モードと優れた拡張性が、硬さ、導電性など、多種多様な試料の性質によらない、確かな測定を実現

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オプション・応用例

雰囲気制御チャンバーCH-Ⅱ(TMPなし)

・雰囲気制御走査型プローブ顕微鏡 WET-SPM
試料と周辺環境全体を制御でき、制御雰囲気下で試料処理を施し、そのままSPM観察することができます。

オプションで,温度湿度制御ユニット,試料加熱冷却ユニット,試料加熱ユニット,ガス吹き付けユニットをご用意しております。

粒子解析ソフトウェア

粒子解析ソフトウェア
画像データから複数の粒子を抽出、個々の粒子に対して特徴量を計算し,解析・表示。統計処理も可能です。

ナノ物性評価ソフトウェア

ナノ物性評価ソフトウェア
走査型プローブ顕微鏡のカンチレバー探針と試料との距離を変えながら探針に働く力を測定(フォースカーブ測定)することにより、表面/界面の物性を評価することができます。

超微小硬度計複合型SPMシステム SPM+TriboScope(TriboScopeは米国Hysitron社製)
極薄膜の硬度試験やスクラッチ試験ができます。
微小部熱分析試験装置複合型SPMシステム SPM+nano-TA2(nano-TA2はアナシスインスツルメンツ社製)
試料表面の三次元形状像取得と、サブミクロンの極微小領域や最表面のみの熱特性の解析が可能になります。

SMP資料室

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