SPM-9700HT - 仕様
走査型プローブ顕微鏡
主な仕様
| 観察モード | 標準 | コンタクト ダイナミック 位相 水平力（LFM） フォースモジュレーション |
| オプション | 磁気力（MFM） 電流 表面電位（KFM） |
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| 分解能 | XY | 0.2 nm |
| Z | 0.01 nm | |
| AFMヘッド | 変位検出系 | 光源／光てこ／検出器 |
| 光源 | レーザーダイオード（On/Off可能） 試料交換中もカンチレバーに対して連続照射 |
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| 検出器 | フォトディテクター | |
| スキャナ | 駆動素子 | チューブ型ピエゾ素子 |
| 最大走査範囲 （X・Y・Z） |
10μm×10μm×1μm （標準） 30μm×30μm×5μm （オプション） 125μm×125μm×7μm （オプション） 55μm×55μm×13μm （オプション） 2.5μm×2.5μm×0.3μm （オプション） |
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| ステージ | 試料最大形状 | φ24mm×8mm |
| 試料交換方式 | 変位検出系とカンチレバーが一体となったヘッドスライド機構 カンチレバーを装着した状態で交換可能 |
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| 試料固定方式 | マグネットによる固定 | |
| Ｚ軸粗動機構 | 方式 | ステッピングモーターによる全自動機構 試料の厚みにかかわらず全自動 |
| 最大可動範囲 | 10mm | |
| 信号表示パネル | 表示量 | 検出器への総入射光量（デジタル表示） |
| 除振機構 | 除振台 | SPMユニットに内蔵 |
| 光学顕微鏡観察 | 方式 | ビームスプリッタスライド方式 |
| 専用風防 | 方式 | 不要または雰囲気制御チャンバー使用 |
| 雰囲気制御 | 方式 | SPMユニットを改造なしでチャンバーへ導入可能 |