付属品選択ガイド(固体試料編)

絶対鏡面反射測定

絶対鏡面反射測定

絶対鏡面反射は図のように基準試料を使わず,試料のない状態(空気)を100%と設定し,試料測定時には100%設定時に対して,試料の反射が加わるだけになります。

絶対鏡面反射測定装置の構造

絶対鏡面反射測定装置は,鏡面反射光の絶対反射率を測定する装置です。大形試料室またはSolidSpecに取り付けて,ミラー等の固体試料の絶対鏡面反射率測定に用います。 同時に試料台積分球セットが必要です。 入射角が大きい場合(30°,45°)には偏光特性の影響を受けますので,正確な測定を行うには別売の偏光子ユニットが必要です。
■UV-2450/2550/2600/2700/3600シリーズ/2600i/2700i/3600iシリーズ/SolidSpec用
■試料の大きさ:
 約φ25 mm または 20×20 mm~約φ200 mm または 150×150 mm,
 厚さは30 mmtまで

絶対鏡面反射測定装置形名 入射角 測定波長範囲
ASR3105 300~800 nm(MPC-2200/2600使用時)
300~2400 nm(MPC-3100/603 または SolidSpec使用時)
ASR3112 12° 300~800 nm(MPC-2200/2600使用時)
300~2500 nm(MPC-3100/603 または SolidSpec使用時)
ASR3130 30° 300~800 nm(MPC-2200/2600使用時)
300~2300 nm(MPC-3100/603 または SolidSpec使用時)
ASR3145 45° 300~800 nm(MPC-2200/2600使用時)
300~2300 nm(MPC-3100/603 または SolidSpec使用時)

試料台積分球セット BIS-603/3100/3700/3700DUV

試料台と積分球をセットしたもので,UV本体に絶対鏡面反射測定装置を取り付けるのに必要な付属品です。
■UV-2450/2550/2600/2700/3600シリーズ/2600i/2700i/3600iシリーズ/SolidSpec用

形名 対応装置名 測定波長範囲
BIS-603 UV-3600 Plus/3600i Plus 240~2600 nm
BIS-3100 UV-2450/2550/2600/2700/2600i/2700i 240~800 nm
UV-3600/3600i 240~2600 nm
BIS-3700 SolidSpec-3700/3700i 240~2600 nm
BIS-3700DUV SolidSpec-3700DUV/3700i DUV 175~2600 nm

大型偏光子Assy,偏光子Assy I,II,III

装置の偏光特性の影響を受けずに入射角の大きい場合の絶対反射率を正確に測定するために用いる付属品です。 偏光子Assy I,II,IIIには,同時に偏光子アダプタセットが必要です。
■UV-2450/2550/2600/2700/3600シリーズ/2600i/2700i/3600iシリーズ/SolidSpec用
*)本偏光子はマルチパーパス大形試料室絶対鏡面反射測定装置で使用します。

品名 有効径 使用可能波長域
大形偏光子Assy 20 mm 250~2300 nm
偏光子Assy I 18 mm 400~800 nm
偏光子Assy II 17 mm 260~700 nm
偏光子Assy III 10 mm 260~2300 nm

可変角測定装置

固体試料の入射角度、受光角度を任意に変更した透過測定、および絶対反射測定が可能です。

● 試料サイズ:20~100 mm角 
● 厚み15 mmまで
● 入射角度:5~70度(可動範囲0~90度)
● 受光角度:10~140度(可動範囲0~90度)

MPC-2600A用
● 測光値正確さ:±3%
● 波長範囲:250~1400 nm

MPC-603A用
● 測光値正確さ:±1.5%
● 波長範囲:250~1650nm

SolidSpec用
● 測光値正確さ:±1.5%
● 波長範囲:250~2500nm

概要図

シリコンウエハ鏡面の
入射角5°/20°/45°/60°絶対反射率データ

 

 
 

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