SPM観察例：半導体 No.5 カーボンナノチューブによる ライン＆スペースの高アスペクト観察例

従来の探針では、このようなアスペクト比の高い試料の場合、底まで探針が届かないため、SPM測定は困難でした。しかし、カーボンナノチューブを採用した探針の開発で、深い底の観察が可能になりました。SAWフィルターの品質管理などに応用されています。