超微小硬度計によるビッカース圧痕

従来は測定が困難であった低荷重領域の微小な圧後も、走査型プローブ顕微鏡（SPM）を用ることで、確実に読み取れます。さらに反転表示(右)することにより、圧痕先端の試料変形状態が明瞭にわかります。