概要

新しく開発したHTスキャナにより、従来より5倍以上の早さ(当社比)で表面形状の観察が可能になりました。 スキャナは簡単に交換できるため、従来のスキャナを使用できます。また、既存のSPM-9700にHTスキャナを追加することで装置のハイスループット化が可能です。

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