TOC-1000e S - 特長

半導体製造プロセスでは様々な原水から大量の超純水を精製します。この精製プロセスでは、不純物を出来る限り取り除くことが求められます。特に尿素は除去が難しいとされており、残留してしまうとアンモニアガスが発生し、後の半導体部材の加工において不良発生の原因になり得ます。尿素は難分解性有機物であり、同様の原理を持つオンラインTOC計でも検出能力が不十分であるという課題がありました。 TOC-1000e S はエキシマランプからのエネルギーの高い短波長光を「Active-Path」構造で試料に照射することで、尿素など難分解性有機物を高感度に検出することができます。

超純水中の不純物の存在を早期に発見することは、半導体部材の不良品発生を未然に防ぐことに繋がります。TOC-1000e Sの測定流路は、エキシマランプと導電率計を直列に連結したシンプルな構造です。装置に取り込む試料水の一部を連続的に測定流路に送り込んで測定する仕組みとなっており、予期せぬ不純物の混入をオンタイムで捕捉することができます。

バイアルサンプラと調製済み標準液（共にオプション品）を使用すれば、現地にて簡単に校正とバリデーションが実施できます。作業の手順はタッチパネル上で分かりやすく表示されます。
また、新しく搭載した“オンライン校正機能”を用いてリファレンス値で校正することで、複数装置の併用や装置入替の際の濃度管理を適切に行うことができます。

装置の移設やメンテナンス作業の後、“自己診断機能”を設定して測定を再開すると、測定と同時に装置状態を診断します。

テキストファイル

カンマ区切り（CSV）、またはタブ区切り。表計算ソフトに読み込ませて使用可能。

テキストファイル

外部入出力

標準搭載の外部入出力キットを使用すると、アナログ出力（4-20 mA）による測定値の出力や、接点出力による警報やイベントの出力が可能になります。

TOC-1000e Sは、酸化部に水銀を使用しないエキシマランプを世界で初めて採用したオンラインTOC計です。エキシマランプは波長172 nm のエネルギーの高い光を瞬時に点灯・点滅させることができ、酸化時のみ点灯させることでランプの劣化を低減します。さらに、エキシマランプからの光を効率良く試料に照射する「Active-Path^TM」構造により試料中の有機物を酸化します。

Active-Path構造

• 光源と試料流路を一体化
• 光源が流路に距離なく接して取り囲み、試料に紫外光を効率良く照射
• 流路の形状がシンプルで、コンタミやキャリーオーバーに強い
• ランプの外装には紫外光を通さない素材を使用。誤って人が目を傷めたり、装置内にオゾンが発生したりすることがありません。