SPM-9700HT - 仕様

走査型プローブ顕微鏡

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主な仕様

観察モード 標準 コンタクト
ダイナミック
位相
水平力（LFM）
フォースモジュレーション
オプション 磁気力（MFM）
電流
表面電位（KFM）
分解能 XY 0.2 nm
Z 0.01 nm
AFMヘッド 変位検出系 光源／光てこ／検出器
光源 レーザーダイオード（On/Off可能）
試料交換中もカンチレバーに対して連続照射
検出器 フォトディテクター
スキャナ 駆動素子 チューブ型ピエゾ素子
最大走査範囲
（X・Y・Z）		 10μm×10μm×1μm　（標準）
30μm×30μm×5μm　（オプション）
125μm×125μm×7μm　（オプション）
55μm×55μm×13μm　（オプション）
2.5μm×2.5μm×0.3μm　（オプション）
ステージ 試料最大形状 φ24mm×8mm
試料交換方式 変位検出系とカンチレバーが一体となったヘッドスライド機構
カンチレバーを装着した状態で交換可能
試料固定方式 マグネットによる固定
Ｚ軸粗動機構 方式 ステッピングモーターによる全自動機構
試料の厚みにかかわらず全自動
最大可動範囲 10mm
信号表示パネル 表示量 検出器への総入射光量（デジタル表示）
除振機構 除振台 SPMユニットに内蔵
光学顕微鏡観察 方式 ビームスプリッタスライド方式
専用風防 方式 不要または雰囲気制御チャンバー使用
雰囲気制御 方式 SPMユニットを改造なしでチャンバーへ導入可能
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