仕様

ポンプ性能

試料ガス供給量 最大5L/min(50Hzにて)

クーラー性能

約7℃以下(ガス流量1.5L/min,周囲温度20℃)

フィルタ性能

0.3μm以下に対し捕集効率85%以上

大きさ

約W305×D482×H513mm

重さ

約12kg

電源

AC100V,150VA(最大)

※外観および仕様は改良のため,予告なく変更することがあります。

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