半導体業界必見！
超純水のTOC値管理から排水中PFASのLCMS分析まで！
半導体製造における洗浄工程は全体の3割以上を占め、大量の水が必要です。その中でも、ウエハー製造や前工程・後工程で使用する超純水や純水の適切な管理は不可欠です。また、近年ではPFASによる健康被害が懸念されており、工場からの排水処理と管理が重要な課題となっています。各国で水質モニタリングが進む中、工場排水のPFAS確認・管理が求められています。
そこで弊社から、半導体や化学、精密機器分野での高純度水管理に最適なTOC-1000eやオンライン用水質分析計TOC-4200を活用したソリューションをご紹介いたします。さらに、LC-MS/MSを用いた排水中のPFAS分析事例もご紹介します。皆様のご参加を心よりお待ちしております。
本Webinarはこんな方におすすめです
- 半導体業界で超純水や排水の管理をされている方
- 受託分析や水質検査に携わっている方
- 工場排水のPFAS分析について対応・検討されている方
プログラム
| 時間 | 内容 |
|---|---|
| 14:00 - 14:25 |
半導体製造における超純水および排水のTOC管理について 超純水は半導体製造の洗浄工程で使用されており、難分解性有機を含めた適切なTOC管理が重要です。また排水では回収水として再利用することや、高濃度な排水を分析できるTOC計が求められます。今回は超純水から排水における適切なTOC計についてご紹介いたします。 講演者：島津製作所 技術者 |
| 14:25 - 14:50 |
排水中のPFAS分析アプリケーションと新型LCMSのご紹介 PFASは環境汚染物質のひとつとして世界的に規制化が進んでいます。一方で、PFASは汎用性が高く半導体製造過程においても広く使用されているため、半導体工場排水中の分析需要が近年高まっています。今回は排水中のPFAS分析例と新型LCMS-TQ RXシリーズをご紹介いたします。 講演者：島津製作所 技術者 |
| 14:50 - 15:00 | 質疑応答 |
※内容やスケジュールなどは変更となる場合がございます。予めご了承ください。
本Webinarに関するお問い合わせ
株式会社島津製作所 セミナー事務局
an_seminar@group.shimadzu.co.jp