SCD自動起動できません[エラーコード:9078]

原因

SCD漏れチェックに失敗しているなど、SCDが起動できない状態です。

対策

漏れチェックに失敗している場合は、以下を確認し再度漏れチェックを実行してください。

[SCD漏れチェック]画面

①カラムの接続

キャピラリカラムの取付(SCD検出器)

②インナーパイロチューブ

インナーパイロチューブの交換

③真空ポンプ

装置の主電源を切り、ガスの供給を停止し、当社営業所、代理店、当社指定のサービス担当店に、
真空ポンプのメンテナンスを依頼してください。メンテナンス後、カウント値をリセットしてください。

④オゾンスクラバー

オゾンスクラバーの交換