SCD真空排気が異常です[エラーコード:6113]

SCD内部に漏れがあります。

下の表を参照して漏れの原因を特定してください。
改善されないときは装置の主電源を切り、ガスの供給を停止し、当社営業所、代理店、当社指定のサービス担当店に、部品交換を依頼してください。

原因	対策
インナーパイロチューブが破損している。	インナーパイロチューブを交換する。インナーパイロチューブの交換
インナーパイロチューブのバックリングがついていない。	インナーパイロチューブのバックリングをつける。インナーパイロチューブの交換
インナーパイロチューブのフェルールが正しく挿入されていない。	インナーパイロチューブにフェルールが挿入されているか、状態に異常がないかを確認する。インナーパイロチューブの交換
カラムが適切に締結されていない。	・ナットの締結状態を確認する。・増し締めを行う。キャピラリカラムの取付（SCD検出器）
真空ポンプのスイッチが入っていない。	スイッチを入れる。
真空引きが不十分。	装置の主電源を切り、ガスの供給を停止し、当社営業所、代理店、当社指定のサービス担当店に、真空ポンプのメンテナンスを依頼してください。メンテナンス後、カウント値をリセットしてください。
真空ポンプとオゾンスクラバーの漏れ込みがある。	接続部を増し締めする。オゾンスクラバーの交換