SCD真空排気が異常です[エラーコード:6113]
原因¶
SCD内部に漏れがあります。
対策¶
下の表を参照して漏れの原因を特定してください。
改善されないときは装置の主電源を切り、ガスの供給を停止し、当社営業所、代理店、当社指定のサービス担当店に、部品交換を依頼してください。
原因 | 対策 |
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インナーパイロチューブが破損している。 | インナーパイロチューブを交換する。 インナーパイロチューブの交換 |
インナーパイロチューブのバックリングがついていない。 | インナーパイロチューブのバックリングをつける。 インナーパイロチューブの交換 |
インナーパイロチューブのフェルールが正しく挿入されていない。 | インナーパイロチューブにフェルールが挿入されているか、状態に異常がないかを確認する。 インナーパイロチューブの交換 |
カラムが適切に締結されていない。 | ・ナットの締結状態を確認する。 ・増し締めを行う。 キャピラリカラムの取付(SCD検出器) |
真空ポンプのスイッチが入っていない。 | スイッチを入れる。 |
真空引きが不十分。 | 装置の主電源を切り、ガスの供給を停止し、当社営業所、代理店、当社指定のサービス担当店に、真空ポンプのメンテナンスを依頼してください。メンテナンス後、カウント値をリセットしてください。 |
真空ポンプとオゾンスクラバーの漏れ込みがある。 | 接続部を増し締めする。 オゾンスクラバーの交換 |