クリーンルーム中の大気分析

電子デバイスの高度化に伴い，クリーンルームでは空気中の無機系微粒子のほか，クリーンルーム構成材，デバイス製造装置，人体から発生する有機系化合物も制御対象になりつつあります。
ガスクロマトグラフ質量分析計(GC/MS)によるクリーンルーム中の大気分析例です。
メトキシアセトン，ジクロロフルオロメタンおよび酢酸は室内で使用している溶媒です。また，ジメチルシリコンオリゴマー(n=5)は，クリーンルーム施工事に使用したコーキング材からの揮発成分と推定されます。

クリーンルーム中の大気分析