過酸化水素水のTOCおよびTN評価

ユーザーベネフィット

－ 過酸化水素水中の全有機炭素（TOC）および全窒素（TN）を同時にかつ迅速に測定できます。 － 高濃度の過酸化水素水を希釈なしで測定できます。 － オートサンプラーASI-Lを用いることで多検体を自動測定することができます。

はじめに

過酸化水素は水と酸素に分解されるという特徴から、環境に配慮した化学品として注目を集めており、様々な分野で活用されています。濃度によって多様な用途があり、身近な消毒洗剤や家庭衣料用漂白剤などから、工業用酸化剤や半導体製造工程における洗浄剤まで、幅広く利用されています。 半導体分野では、デバイスの微細化・高集積化に伴い、洗浄プロセスで使用される薬品への高純度化の要求は益々厳しくなっています。そのため、過酸化水素水などの洗浄剤においても高度な品質管理が求められる場合があります。 島津全有機体炭素計を使用すると、高濃度の過酸化水素水でも希釈なしで全有機炭素（TOC）を測定することができます。また、全窒素ユニット（TNM-L）を付加すれば過酸化水素水中の全窒素（TN）濃度を同時に測定することもできます。そのため、過酸化水素水の汚染管理に有効と考えられます。 今回、島津全有機体炭素計TOC-Lによる30%過酸化水素水のTOCおよびTN測定をご紹介します。

2023.05.23