オートX-Yステージ付SolidSpec-3700を用いて測定した太陽電池用TCO膜付きガラス基板の面内透過率分布

はじめに

太陽電池はn型/p型半導体，反射防止膜，TCO(Transparent conductive oxide，透光性導電性酸化物)膜，ガラス基板など様々な部品から構成されています。反射防止膜についてはアプリケーションニュースA409で絶対反射率の測定例を紹介しました。今回は，TCO膜付きガラス基板の透過測定について報告します。TCO膜は，光を透過し且つ電気を通す性質を持つ膜ですが，それが成膜されたガラス基板の面内透過率分布を調べることはTCO膜およびガラス基板の評価において重要です。今回，紫外可視近赤外分光光度計SolidSpec-3700にオートX-Yステージを装着し，TCO膜付きガラス基板の面内透過率分布を測定しましたのでご紹介します。

2009.10.31