固体試料測定に新しいソリューションを提供する新製品SolidSpec-3700/3700DUV の紹介～世界初3検出器搭載で近赤外域全体にわたり高感度化を実現～

はじめに

この度，光学・半導体分野に威力を発揮する新製品・紫外可視近赤外分光光度計SolidSpec-3700/3700DUVが発売されました。 SolidSpec-3700は標準仕様，SolidSpec-3700DUVは深紫外仕様です。様々な特長を有した本製品は，超大形試料室を標準装備し，多様なアプリケーションに対応します。 本装置は光電子増倍管，冷却型PbS検出器にInGaAs検出器を加えた3検出器搭載型で，近赤外領域に対してInGaAs検出器と冷却型PbS検出器を使用することによって近赤外領域全体に渡って高感度化を達成しました。また従来測定困難な領域であった深紫外域（165nm～190nm）の測定が可能となり，半導体関連で要求される深紫外域での部品評価が可能となりました。今回は3検出器搭載による感度アップを中心に各種反射・透過測定の事例を紹介致します。

2004.10.21