紫外・可視分光光度計による各種膜厚測定

はじめに

物質の膜の厚さを測定しようとする場合，世の中には様々な方法や装置が存在しますが，紫外・可視分光光度計を用いれば，非接触・非破壊で簡単に測定することができます。その場合，測定できる膜の厚さに制限がありますので，今回は分光光度計を用い紫外・可視の波長領域で，どの程度の膜厚が測定できるかを種々の膜を用い調べましたのでご紹介します。

2000.01.19