赤外顕微鏡AIM-9000 によるイメージング‒電気電子分野における不良解析‒

はじめに

イメージングとは、測定対象物に含有される成分の分布や化学構造の空間的差異を可視化することを指します。短時間で多くの情報を得ることができるため、異物分析をはじめ、工業材料や生体試料の分析など幅広く活用されています。赤外顕微鏡 AIM-9000 は、従来機の AIM-8800 と比較してマッピング速度が約 4 倍に向上*1しました。これまでになくスムーズに、イメージング分析を行っていただくことができます。また、AIM-9000 は業界最高感度の SN 比 30,000:1 を兼ね備え、「高速」と「高感度」の両立を実現しています。マッピングプログラムでは、試料内成分の面内分布が解析できるエリア測定と、深さ方向の解析に有用なライン測定が可能です。 本稿では、混合異物と電子基板不良の解析事例を紹介します。*1： 測定条件（アパーチャサイズ、ステップ、積算回数など）によって異なります。

2017.12.07