赤外顕微鏡を用いた近赤外領域における膜圧測定

はじめに

フィルムの膜厚を測定する場合，スペクトルに出現する干渉縞から膜厚を計算する方法が一般的ですが，中赤外領域（4000－400cm-1）においては試料のピークの出現などの干渉を妨害する要因が様々あります。しかしながら近赤外領域においてはこのような問題は非常に少なくなり，膜厚測定には適しています。また赤外顕微鏡を用いることによって微小試料における膜厚測定も可能になります。今回は，顕微赤外分光法によるポリエチレンフィルム（PE）とポリスチレンフィルム（PS）の近赤外領域における膜厚測定の事例をご紹介します。

2002.09.18