SPMによる薄膜断面の観察

はじめに

薄膜の断面を形状観察することは，表面を観察する以上に興味のあることといえます。先ず，断面から膜厚を知ることはその目的の第一でしょう。次に，ベースとなる基板との界面の状態，あるいは，複数の薄膜層間の界面の状態や層内の粒状性などがあります。さらに，異種薄膜との層間接着や拡散性を知る上で，断面観察は重要な観察手法と言うことができます。しかし，従来は，断面やエッジ部の観察において，微小探針を使用したSPMは，探針が折れたり，エッジ部での制御が難しく困難とされ，ほとんど利用されていませんでした。 そこで，今回，走査型プローブ顕微鏡（Scanning ProbeMicroscope：SPM）を用いて薄膜断面の観察を行い，充分可能であることを，データを添えてご紹介いたします。断面観察には，サンプリングから測定までいくつかのノウハウが必要ですが，併せてご紹介いたします。 試料としては，Si基板上にSi酸化膜や有機膜を形成したものと，ガラス基板上にITO膜（透明導電膜）を結晶成長させたものを取り上げました。

2021.03.28