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はじめに

AIXSには測定したマッピングの中ので複数の任意の分析ポイントを指定することのできるマルチポイント分析機能があります。この手法とアルゴンイオンスパッタリングを組み合わせることによって、試料を動かさずに一度に複数のポイントのデプスプロファイルを測定することができます。 ここでは色むらのある亜鉛メッキ鋼板をAIXISのマルチポイントデプスプロファイル機能を使って分析した例を紹介します。

2010.03.14