EPMAによる微小部分析

はじめに

近年，ナノテクノロジーの進歩と共に，様々な工業製品が小型化・少量化・精密化しています。また全ての製品には，地球上に存在する物質が使用されていますが，資源は限られており，特にレアメタルなど限られた資源の使用量を減らし，また有害な元素を含まない材料の開発が進んでいます。そのため，使用される材料のナノ粒子化が進み，微小な領域において，高感度で高分解能な分析が必要となります。電子線マイクロアナライザ（EPMA）は，従来から微小部高感度の表面分析装置として知られており，現在も様々な分野で種々の目的に使用されています。最近， 普及が著しいCeB6-EPMA は， 従来のW-EPMA よりも高感度・高分解能の画像観察と元素分析が可能で，研究開発における微小領域の測定や品質管理の現場では不良解析などに用いられています。今回は，触媒材料と鉄鋼材料における微小領域の高感度分析データをご紹介します。

2021.03.30